半導体や医療器具などのように僅かな不純物の混入が許されないような製品の製造現場においては、プラズマ洗浄装置が用いられています。プラズマとは電離したガスのことで、非常に反応性が高くて酸化力が強いという性質を持ちます。プラズマ化したガスが製品の表面に付着した有機物などの不純物を酸化させて除去することで、洗浄をすることができます。プラズマ洗浄装置は溶媒や洗浄液などを一切必要とせず、減圧下でプラズマを照射するだけで表面に付着した不純物の実を除去することができるというメリットがあります。

ドライ環境下で処理を行うことができるので、洗剤の除去や溶媒の乾燥工程が不要です。製品の表面に洗浄液などの不純物が残る心配がなく、付着した不純物のみを除去することが可能です。この方法だと環境を汚染する溶媒や洗剤などの化学物質を使用する必要がないため、廃液処理の問題が生じないというメリットもあります。プラズマ洗浄装置はドライ環境下で使用するので溶剤や洗剤を必要としないというメリットがありますが、デメリットも存在します。

プラズマガスを生成させるためには減圧下で反応ガスに高圧電流またはマイクロ波を照射する必要があるので、専用の耐圧容器と真空ポンプが必要になります。ロットごとに反応容器に入れて減圧を行う必要があるので、連続処理ができません。そのため、製造現場であれば手間がかかってしまうので製造コストがかかってしまいます。

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