従来のプラズマ装置はプラズマガスを発生させるためには減圧下の環境が必要で、専用の容器内に入れて真空ポンプを用いて空気を抜いてから処理を行っていました。最近は大気圧下でもプラズマガスを発生させることが可能になり、減圧を必要としない大気圧プラズマ装置も販売されています。大気圧プラズマ装置の一番のメリットは、処理をする対象物を容器に入れて空気を抜く必要がないことです。生産ライン上で製品に連続的にプラズマガスを照射して処理を行うことができるので、手間やコストを下げることができます。

真空ポンプや専用の減圧容器を必要としないため、装置が小型化できるというメリットもあります。大気圧プラズマ装置のデメリットは、プラズマ発生装置に反応ガスを供給する必要がある、プラズマが届く範囲が狭いので処理ができる製品の形状やサイズが限られてしまう、の2点です。減圧用の容器は必要ありませんが、反応ガスを送り込むためのボンベや配管が必要になります。ただし最近は空気をプラズマ化させることが可能な装置も開発されているので、必ずしもアルゴンガスなどの反応ガスを用意する必要はありません。

大気圧の環境下では電離したプラズマガスが空気と反応してしまうので、表面処理をする対象物とプラズマ発生源との距離を近づける必要があります。プラズマを照射することができるのは平面上に限られており、三次元的な構造物の表面に均一に処理することはできません。プラズマ装置のことならこちら

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です