一般的にポリマーやシリコン系の無機材料の表面は疎水性の性質を示し、水をはじくという特徴があります。水溶液を扱う器具にポリマーやシリコン材料を使用する場合は、表面処理を行って親水性に改質する必要があります。疎水性の物質の表面を親水性に変えるためには水酸基などを付加する必要があり、化学的に処理をする場合は強酸性の薬品が必要になります。シリコンを溶かすことのできる強酸の種類は限られていて、猛毒なフッ化水素などを使用しなければなりません。

プラズマ装置を使用すれば危険な化学薬品を使用することなく、疎水性の表面を親水性に改質することができます。プラズマガスにはラジカル状態の原子やイオンが多く含まれており、化学的に非常に不安定な性質を持ちます。このため、プラズマ装置を使用して電離したプラズマガスを照射するだけで簡単に無機物質やフッ素系ポリマーの表面を酸化して親水性の官能基を付加することができます。プラズマ装置を使用すれば危険な薬品を使用する必要がないため、廃液処理や洗浄・乾燥工程が不要になるというメリットがあります。

効率的に大量のプラズマガスを発生させるためには、減圧状態にする必要があります。このためプラズマ装置は真空容器の内部に設けられており、処理を行う前に真空ポンプで内部の空気を抜いて減圧状態にします。最近は大気圧でもプラズマを生成することができるプラズマ装置が開発されているので、減圧処理をすることなく連続処理をすることも可能です。

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