疎水性の表面を親水性に改質したり製品の表面に付着した有機物の不純物を除去する際に用いる低圧プラズマ装置は、専用の容器を使用して減圧環境にしてから処理を行います。低圧プラズマ装置を使用すると反応の前後で空気を抜いたり大気圧に戻すための操作が必要になるため、連続処理には不向きです。低圧プラズマ装置は反応用のガスを供給する必要がなく、容器内の気体に高エネルギーの電場を賭けるだけでプラズマハスを発生させることができます。減圧環境下では発生したプラズマはある程度の距離まで届くので、対象物の表面にまんべんなく照射して処理を行うことができます。

凹凸のある表面にも奥のほうまでプラズマが到達するので、三次元的な立体で複雑な形状の製品を処理するのに向いています。真空に近い状態で処理をする低圧プラズマ装置であれば、プラズマ発生源から対象物をある程度まで離すことができます。このため、処理中に製品に熱が伝わりにくくて温度が上昇を防ぐことができるというメリットもあります。温度上昇を防ぐことができることから、ポリマーなどのように熱に弱い製品を処理するの表面処理をすることが可能です。

低圧プラズマ装置を使用する場合には処理の前に減圧するために余分の手間がかかりますが、大量のプラズマガスを効率的に生成して製品の表面に均一に照射して処理をすることができるというメリットがあります。そのため、今でも多くの製造現場で採用されています。

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